第166章 中国人自己的芯片(1 / 1)

接下来两天,苏白几乎没有出过废品站的门。

十片硅圆片整齐的排在工作台上,每一片都经过了他用蒸馏水和无水酒精的反复清洗。

第一步,涂光刻胶。

苏白用自制的旋涂装置,也就是那台离心机换了个低速档,把光刻胶均匀甩在硅片表面。

转速一千二百转,持续三十秒。

取下来的硅片表面覆盖了一层薄薄的淡黄色胶膜,厚度约两微米。

然后是预烘。

苏白把涂好胶的硅片放在铁板上,下面用酒精灯加热。

温度控制在九十度,烘两分钟,让胶膜里的溶剂挥发干净。

佟舒帮他计时,手里攥着那只从废品堆里淘出来的老式怀表。

“两分钟到了。”

苏白用镊子把硅片取下来,放在避光盒里冷却。

十片硅片,十次涂胶,十次预烘。

流水线作业,两人配合的十分默契。

第二步,曝光。

这一步必须在暗室环境下完成。

苏白把废品站的窗户用黑布蒙的严严实实,只留一盏红色安全灯。

他从避光盒里取出那张修改好的光刻掩膜,那张没有自毁后门的版本。

掩膜覆盖在涂好胶的硅片上方,对准位置。

苏白用的对准方法很简单:硅片边缘有一个他预先刻好的定位缺口,掩膜上有对应的十字标记。

两个标记重合,就意味着对准完成。

破绽之眼辅助微调,精度控制在一微米以内。

然后开灯。

那盏从轧钢厂暗房里搬回来的高压汞灯发出强烈的紫外线。

曝光十五秒。

关灯。

紫外线透过掩膜上的透明图案区域,照射在光刻胶上。

被照到的部分发生化学反应,变的溶于显影液。

没被照到的部分保持不变,继续保护下方的硅片。

这就是光刻的基本原理。

简单,但每一步的精度要求都很高。

第三步,显影。

苏白把曝光后的硅片浸入碳酸钠溶液中,轻轻晃动三十秒。

被紫外线照射过的胶膜溶解脱落,露出下方裸露的硅表面。

没被照射的部分留在原位,形成保护图案。

取出硅片,用蒸馏水冲洗,在红色安全灯下观察。

硅片表面出现了清晰的微缩电路图案。

线条锐利,边缘齐整,没有毛刺,没有断线。

苏白嘴角微翘了一下。

佟舒凑过来看,倒吸了一口凉气。

“这就是芯片的电路?”

苏白点头。

“还差最后一步,蚀刻。”

第四步,化学蚀刻。

苏白配好稀释的氢氟酸溶液,浓度百分之五。

这一步是用酸液把裸露的硅表面腐蚀掉一层,形成沟槽。

而被光刻胶保护的部分不受影响,保持原有高度。

这样硅片表面就形成了立体的电路结构。

苏白用镊子夹着硅片,缓慢浸入酸液。

计时三十秒。

取出,蒸馏水冲洗,无水酒精脱水,自然晾干。

然后用丙酮把剩余的光刻胶全部溶解洗掉。

硅片表面,一张完整的微缩集成电路赫然呈现。

没有自毁后门的ML-7A芯片电路。

干净的版本。

苏白把硅片举到灯下,破绽之眼进行最终全面扫描。

所有逻辑门连接正确。

所有走线宽度均匀。

四根零电位连线完美替代了原来的自毁阈值线。

计数器溢出条件为零,永远不会触发。

苏白放下硅片,靠在椅背上,长长的吐了一口气。

佟舒站在旁边,眼眶泛红,嘴唇抿的紧紧的。

她从事军工档案工作三年,经手过无数份绝密图纸和技术报告。

她比任何人都清楚这片薄薄的硅片意味着什么。

这是中国第一枚没有外国后门的数控机床核心芯片。

从逆向解析到光刻胶制备,从掩膜修改到硅片切割,全部在一间四合院的废品站里完成。

用的是废旧电影胶片、报废整流管、淘来的老松香和从垃圾堆里捡出来的离心机电机。

没有实验室,没有进口设备,没有任何外国专家的帮助。

佟舒看着苏白的侧脸,他靠在椅背上闭着眼睛,几天没睡好的疲惫全写在脸上。

但嘴角微微上扬。

佟舒没忍住,走过去从背后环住了他的肩膀,额头贴在他后脑勺上。

苏白睁开眼,抬手拍了拍她搭在自己肩上的手背。

“别哭,还没完呢。”

佟舒闷闷的嗯了一声,声音闷在他后颈里。

“我没哭。”

苏白笑了一下,没揭穿她。

他把芯片装进防静电盒里密封好,起身伸了个懒腰。

然后走到门口,拉开门栓,把院子里那只在门口蹲了三天的野猫赶走。

冷风灌进来,苏白打了个激灵,又把门关上了。

“通知老李吧,让他来验收。”

佟舒擦了擦眼角,从挎包里掏出通讯录,去打电话了。

……

当天夜里十一点,一辆军用吉普停在了胡同口。

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