“掉了?”
简陋的洁净室里,负责操作的年轻研究员声音发颤,手里一把好不容易从卫生所借来的钢镊子直打哆嗦,差点砸在地板上。
他扭头看向身后站着的化工所老教授,脸上全是慌乱。
“教授,它……它自己掉下来了。”
老教授几步走上前,凑到操作台前一眨不眨的盯着。
只见这片刚刚涂抹好光刻胶,并经过短暂曝光的银灰色硅片上,原本平整的紫色胶膜,现在正边缘卷曲,大片大片的往下剥落。
这样子,真像受了潮的墙皮,风一吹就能掉个精光。
“怎么会这样?”
老教授脸色煞白,一把拿过研究员手里的镊子,轻轻的夹起这片报废的硅片,放到高倍显微镜下。
视野里的情况让人绝望。
胶膜和硅片之间,分明有一层看不见的水汽,把两者隔开,完全结合不到一起。
老教授放下镊子,身子晃了晃,靠在身后的木头实验台上。他嘴里念叨个不停,眼神直愣愣的。
“配方错了……从根上就错了……”
周围几个化工所的研究员,听见这话,心里全都凉透了。
为了这半个月的攻坚,他们跟着老教授吃住在实验室,天天啃冷硬的玉米面窝头,就着咸菜疙瘩熬通宵。没日没夜的试了几百种配方组合,才好不容易调出这种对紫外光敏感的树脂。
大家本以为建好这个百级洁净室,就能甩开膀子大干一场,给国家造出争气的芯片。
没想到第一步就摔了个大跟头。
“不可能啊,咱们之前在普通玻璃片上做实验,附着力好得很啊。”一个年轻研究员抓着头皮,很不甘心。
“玻璃和硅片能一样吗?”
老教授烦躁的摆摆手,整个人像泄了气的皮球。
“成分不一样,表面性质完全两码事!咱们这光刻胶,压根就抓不住硅片!”
他越说越自责,拳头重重砸在木台面上。
“方向错了!全错了!咱们浪费了半个月时间,还浪费了国家这么多宝贵材料!”
绝望的情绪,在小小的洁净室里很快传开。
就在大家不知所措的时候,洁净室的门被推开。
林振穿着一身连体白布洁净服,只露出一双眼睛走了进来。
他进门就看见实验台上的那片墙皮一样的光刻胶,还有旁边失魂落魄的老教授。
“怎么了,老教授?”林振的声音透过厚厚的布口罩,听着有些闷。
“林总师……”
老教授抬起头。他一双熬出红血丝的眼睛里,写满了愧疚。
“我对不住院里的信任,咱们的光刻胶……失败了。”
他指着那片废弃的硅片叹气。
“它根本粘不住。”
林振大步走到显微镜前,自己调了调焦距,低头仔细看起来。
过了大概半分钟,他直起腰。
“这不是配方的问题。”
嗯?
老教授愣住了。
洁净室里所有的眼睛全盯在林振身上。
“胶没问题。”林振指着旁边的瓶子,“是这口锅的问题。”
锅?
大家更糊涂了。这里哪来的锅。
林振拿起镊子,夹起那片光洁的硅片举在半空。
“这硅片,也就是二氧化硅,它的表面天生就带着不少羟基。这玩意儿别的爱好没有,就喜欢和空气里的水分子抱团。”
他看着老教授,掰碎了讲。
“所以,咱们这硅片表面,其实一直盖着一层肉眼看不见的极薄水膜。它天生就是亲水的。”
他又指了指旁边一小瓶紫色的光刻胶溶液。
“咱们造的光刻胶,是有机物,是树脂。这东西说白了,本质上是油。油这东西,大家平时做饭都知道,它是疏水的。”
林振把硅片和光刻胶瓶子并排搁在桌上。
“现在,你们想把一层油,死乞白赖的涂在一块沾满水的板子上。大家伙儿说说,它能粘得住吗?”
水和油不相容。
这么简单的物理常识,被林振几句话一点拨,化工所的所有人脑子全都转过弯来了。
“原来是这样!”
“哎哟,不是咱们的胶不行,是这硅片太滑溜了!”
“可不是嘛!我怎么就脑筋没转过这个弯呢!”
刚才还死气沉沉的实验室,这会儿一下子炸了锅,全活过来了。
老教授激动的一把攥住林振的胳膊,力气十分的大。
“林总师!那……那有办法解决吗?能把这层水膜弄掉吗?”
“当然有。”
林振胸有成竹的拍拍老教授的手背。
“咱们分两步走。”
“第一步,叫脱水。这事儿简单得很,把硅片直接扔进烘箱,高温烘烤。设定一百五十度,烤上它半个小时,把表面的物理吸附水全给蒸发干净。”
“第二步,也是最要紧的一步,叫打底。”
林振伸手去摸口袋,掏出一张折叠得四四方方的信纸。纸上写着一个化学品名称,还有简易的制备流程。他向来喜欢未雨绸缪。
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