接触式曝光？

光学所老所长的话，让会议室里的气氛，再次变得微妙起来。

在场的专家们，都明白他话里的意思。

所谓的接触式曝光，是光刻技术最原始，也是最简单的形态。

它的优点是，结构简单，对光学系统的要求极低，甚至不需要投影物镜，只需要一个平行的光源，就能工作。

非常适合在当前一穷二白的情况下，快速搭建一个实验平台，用来验证光刻胶、显影、刻蚀等一系列化学工艺。

这听起来，是一个非常务实，非常符合当前国情的选择。

立刻，就有不少专家表示了赞同。

“我同意老张的看法！我们不能好高骛远，一口就想吃成个胖子。饭要一口一口吃，路要一步一步走。”

“没错，先用接触式曝光，把工艺流程跑通，把配套的材料搞出来。等这些基础打好了，再回头来攻关投影式光刻机，不是更稳妥吗？”

“先解决‘有’和‘没有’的问题，再解决‘好’和‘不好’的问题。我支持这个方案！”

一时间，主张“先易后难，稳扎稳打”的声音，占据了上风。

所有人的目光，都看向了林振，等待着他这个总设计师的最终决断。

林振没立刻表态。

他走到黑板前，看着自己刚刚画下的任务分配表，陷入了沉思。

其实，专家们说的有道理。

接触式曝光，确实是当前最现实的选择。

如果他一意孤行，非要一步到位，直接上最先进的投影式光刻机，那很可能会因为目标过高，导致整个项目在起步阶段，就因为无数个“不具备”而停滞不前，最终拖垮所有人的信心。

作为一个穿越者，他最大的优势是，他很清楚的知道，技术发展的客观规律和每一条技术路线的优点与弊端。

他不能盲目地把后世的“标准答案”，生搬硬套到这个一穷二白的年代。

他必须尊重科学，尊重现实。

想到这里，林振心中已经有了答案。

他面对着所有专家，缓缓开口。

“我同意，用接触式曝光，作为我们801工程的第一步。”

此话一出，支持该方案的专家们，都松了一口气。

他们生怕林振这个年轻的天才，会因为过于自信，而听不进他们这些老家伙的建议。

只是，林振接下来的话，却让所有人，都再次把心提到了嗓子眼。

“可是，”林振的音调斩钉截铁，“我只把它，当作一个验证工艺的平台，而不是我们最终要交付的产品。”

“为什么？”

光学所的老所长不解的问。

“接触式曝光，虽然简单，可它有一个致命的缺陷。”

林振解释道。

“那就是，在曝光过程中，掩膜版会和硅片上的光刻胶，直接接触。”

“这种接触，会带来三个无法解决的问题。”

“一，划伤。硅片和掩膜版上，哪怕有最微小的灰尘颗粒，都会在接触和压力的作用下，像砂纸一样，划伤彼此。这会导致掩膜版和硅片的报废率，高得惊人。”

“二，污染。光刻胶里的化学成分，会污染掩膜版。掩膜版上的灰尘，会转移到硅片上。这种交叉污染，在微米级的电路制造中，是致命的。”

“三，寿命。每一次接触，都会对掩膜版造成不可逆的磨损。一块昂贵的掩膜版，可能用不了几次，就报废了。这在未来的大规模量产中，是绝对无法接受的成本。”

林振的分析，鞭辟入里，一针见血。

把接触式曝光的弊端，说得清清楚楚，明明白白。

刚才还支持这个方案的专家们，都沉默了。

他们只看到了接触式曝光的简单，却没看到它背后隐藏的陷阱。

“那……那林总师您的意思是？”

有人小心翼翼的问。

“我的意思，很简单。”

林振拿起粉笔，在黑板上，画了两条并行的线。

“两条腿走路！”

“第一条腿，是刚才大家说的，我们立刻动手，用最快的速度，造一台接触式曝光平台。它的任务，是为了给我们化工所的同志们，提供一个测试和改进光刻胶、显影液、刻蚀液的实验工具。同时，也为我们建立第一代的洁净室环境，积累经验。”

“第二条腿，”林振的目光，扫过光学所和精密机械厂的专家们，“我们同步，启动1:1投影光学系统，和配套的工件台系统的攻关！”

“我不要你们一步就做出能缩小4倍的镜头，也不要你们一步就实现纳米级的精度。”

“我们第一代实用型光刻机的目标是1:1的等比例投影，能稳定实现10微米线宽的加工能力！实验目标，是冲刺8微米！”

“这个目标，比直接上最先进的技术，要现实得多。同时，它也彻底避开了接触式曝光的所有缺陷，为我们未来的技术升级，留下了一条清晰的、可持续发展的道路。”

“我们既要脚踏实地，解决当前的‘有无’问题。也要仰望星空，为未来的‘好坏’问题，做好布局！”

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