“这……这怎么可能？”

负责操作的研究员，看着显微镜下的景象，整个人都傻了。

为了这次实验，他们已经做了最充分的准备。

整个房间，在实验前，用消毒水和酒精，擦洗了三遍。

所有的实验人员，都换上了白大褂，戴上了口罩和帽子。

在他们看来，这已经是他们能做到的，最干净的环境了。

可结果，依旧如此。

消息传到801项目组的每日例会上，所有人一下子没了声音。

“我去看过现场了。”

化工所的负责人，一个五十多岁的老教授，一脸的无奈。

“我们用高倍显微镜观察了一下，发现落在硅片上的灰尘，尺寸从几微米到几十微米不等。”

他顿了顿，说出了一个更令人绝望的数据。

“而我们第一代光刻机，要加工的线宽，是10微米。”

换言之，空气中随处飘荡的一粒微小灰尘，它的尺寸，就可能比他们要制造的整个电路，还要大。

“这些灰尘，落在硅片上，就像在高速公路上，扔了一块大石头。”

林振替他做了总结。

“如果是在光刻胶下面，它会导致光刻胶凸起，曝光失真，形成针孔。”

“如果是在光刻胶上面，它会挡住光线，导致下面的光刻胶无法曝光，形成断线。”

“无论是哪一种，结果都是灾难性的。”

“我们甚至还没开始跑，就已经被这些看不见的拦路虎，给绊倒了。”

一个年轻的研究员，沮丧的说道。

“问题出在哪里？”

林振问道。

“问题出在……空气。”

老教授苦笑着回答。

“我们现在才明白，我们平时呼吸的，看似洁净的空气，对于微米级的半导体制造来说，到底有多脏。”

“我们缺少一套，能够有效过滤空气中微小颗粒，并且维持室内环境高度洁净的系统。”

“也就是林总师您之前说的，洁净室。”

所有人的目光，再次聚焦到林振身上。

又是林振。

似乎所有他们遇到的，想不通，解决不了的难题，林振早就已经预见到，并且给出了答案。

“我这里，有一套洁净室的设计方案。”

林振不想卖关子，他让耿欣荣把早就准备好的图纸，分发给众人。

“这套方案的核心，是三个东西：分区、正压、和过滤。”

林振指着图纸，开始讲解。

“首先，是分区。”

“我们要把整个实验区域，按照洁净度的不同，划分为不同的等级。比如，百级区，千级区，万级区。”

“越是核心的操作，就要在越高等级的洁净区里进行。人员和物料，必须按照规定的流线，单向流动，不能交叉，不能逆行。”

“其次，是正压。”

“我们要让洁净室内的气压，始终高于室外的气压。这样一来，空气就只会从室内往室外流，室外那些‘脏’空气，就流不进来了。”

“最后，也是最关键的，是过滤。”

林振在图纸上，画出了一个巨大的风机和复杂的管道系统。

“我们要用强大的风机，把室外的空气，抽进来。然后，让这些空气，通过一个由高效空气过滤器组成的过滤墙，把里面99.99%的灰尘，都过滤掉。”

“过滤后的洁净空气，从天花板上，均匀地吹下来，形成一个垂直的单向气流，把室内产生的灰尘，都压到地面上，然后从地面的回风口，抽走。”

“人员进出，必须经过一个叫做风淋室的房间，用高速的洁净气流，吹掉身上携带的灰尘。”

“地面，要铺设带有粘性的地板，把鞋底的灰尘粘住。”

“所有的人，都必须穿上特制的，不产尘的洁净服，戴上头套、口罩、手套，把自己从头到脚，包得严严实实。”

林振描述的这个场景，让在场的所有人，都听得目瞪口呆。

这哪里是实验室，这简直比医院的手术室，还要夸张！

“林……林总师……”

材料所的所长，艰难的咽了口唾沫。

“您说的都很好，可是……您说的那个，能过滤掉99.99%灰尘的高效空气过滤器，我们……我们没有啊。”

又是一个没有。

“没有，就造。”

林振的回答，一如既往的简单粗暴。

“过滤器的原理，很简单。就是用极细的纤维，织成一张网。纤维越细，网的孔隙就越小，过滤效果就越好。”

“我建议，材料所的同志们，可以去试试超细玻璃纤维。把玻璃，拉成几微米，甚至亚微米级别的细丝，然后通过静电纺丝或者熔喷工艺，制成无纺布滤芯。”

“如果玻璃纤维暂时做不到，也可以试试多层复合滤纸。用不同孔径的植物纤维滤纸，叠加在一起，也能起到一定的过滤效果。”

林振再次展现了他那堪称恐怖的，跨学科知识储备。

连滤芯的具体制造工艺，都说得头头是道。

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